顯示出利用矽微加工工

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高人氣-測試機-總代理商 微型感測器方面取得成功。1987年美國加州大學伯克利分校研製出轉子直徑為60～1 - 高人氣-測試機-總代理商 - 2μm的利用矽微型靜電機，顯示出利用矽微加工工藝製造小可動結構並與積體電路相容以 - 高人氣-測試機-總代理商 - 製造微小系統的潛力。微型機械在國外已受到政府部門、企業界、高等學校與研究機構的高 - 高人氣-測試機-總代理商 - 度重視。美國MIT、Berkeley、StanfordAT&T的15名科學家 - 高人氣-測試機-總代理商 - 在上世紀八十年代末提出"小機器、大機遇：關於新興領域--微動力學的報告"的國家建議書，聲稱"由於微動力學(微系統)在美國的緊迫性，應在這樣一個新的重要技術領域與其他國家的競爭中走在前面"，建議中央財政預支費用為五年5000萬美元，得到美國領導機構重視，連續大力投資，並把航空航太、資訊和MEMS作為科技發展的三大重點。美國宇航局投資1億美元著手研製"發現號微型衛星"，美國國家科學基金會把MEMS作為一個新崛起的研究領域制定了資助微型電子機械系統的研究的計畫，從1998年開始，資助MIT，加州大學等8所大學和貝爾實驗室從事這一領域的研究與開發，年資助額從100萬、200萬加到1993年的500萬美元。1994年發佈的《美國國防部技術計畫》報告，把MEMS列為關鍵技術專案。美國國防部高級研究計畫局積極領導和支持MEMS的研究和軍事應用，現已建成一條MEMS標準工藝線以促進新型元件/