一起集成在矽片上3mm×3mm的範圍內

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獨家-測試機-工廠 這種定位。有些具體情況可按下列原則處理。(1)、為了保證加工精度，粗、精加工最好 - 獨家-測試機-工廠 - 分開進行。因為粗加工時，，以及集微型速度計、微型陀螺和信號處理系統為一體的微型慣 - 獨家-測試機-工廠 - 性組合(MIMU)。德國創造了LIGA工藝，製成了懸臂梁、執行機構以及微型泵、微 - 獨家-測試機-工廠 - 型噴嘴、濕度、流量感測器以及多種光學器件。美國加州理工學院在飛機翼面粘上相當數量 - 獨家-測試機-工廠 - 的1mm的微梁，控制其彎曲角度以影響飛機的空氣動力學特性。美國大批量生產的矽加速度計把微型感測器(機械部分)和積體電路(電信號源、放大器、信號處理和正檢正電路等)一起集成在矽片上3mm×3mm的範圍內。日本研製的數釐米見方的微型件所連續完成的那部分工藝過程。構成一個工序的主要特點是不改變加工物件、設備和操作者，而且工序的內容是連續完成的。例如圖32-1中[cc1]的零件，其工藝過程可以分為以下兩個工序：工序1：在車床上車外圓、車端面、鏜孔和內孔倒角；工序2：在鑽床上鑽6個小孔。在同一道工序中，工件可能要經過幾次安裝。工件在一次裝夾中所完成的那部分工序，稱為安裝。在工序1中，有兩次安裝。第一次安裝：用三爪卡盤夾住 外圓，車端面C，鏜內孔，內孔倒角，車外圓。第二次安裝：調頭用三爪盤夾