對於某些加工精度要求高的零件

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獨家-測試機-代理 切削量大，工件所受切削力、夾緊力大，發熱量多，以及加工表面有較顯著的加工硬化現象 - 獨家-測試機-代理 - ，工件內部存在著較大的內應力，如果粗、粗加工連續進行，則精加工後的零件精度會因為 - 獨家-測試機-代理 - 應力的重新分佈而很快喪失。對於某些加工精度要求高的零件。，從1998年開始，資助 - 獨家-測試機-代理 - MIT，加州大學等8所大學和貝爾實驗室從事這一領域的研究與開發，年資助額從100 - 獨家-測試機-代理 - 萬、200萬加到1993年的500萬美元。1994年發佈的《美國國防部技術計畫》報告，把MEMS列為關鍵技術專案。美國國防部高級研究計畫局積極領導和支持MEMS的研究和軍事應用，現已建成一條MEMS標準工藝線以促進新型元件/裝置的研究與開發。美國工業主要致力於感測器、位移感測器、應變儀和加速度表等感測器有關領域的研究。很多機構參加了微型機械系統的研究，如康奈爾大學、斯坦福大學、加州大學伯克利分校、密執安大學、威斯康星大學、老倫茲得莫爾國家研究等。加州大學伯克利感測器和執行器中心(BSAC)得到國防部和十幾家公司資助1500萬元後，建立了1115m2研究開發MEMS的超淨實驗室。日本通產省1991年開始啟動一項為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計畫，研製兩台樣機，一台用於醫療、進入人體進行診斷和微型手術，另一台用於工業，對飛機發動機和原子能設備的微小裂紋實施維修。該計畫有築波大學、東京工業大學、