德國自1988年開始微加工十年計畫專案

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豪华型-測試機-安装 東北大學、早稻田大學和富士通研究所等幾十家單位參加。歐洲工業發達國家也相繼對微型 - 豪华型-測試機-安装 - 系統的研究開發進行了重點投資，德國自1988年開始微加工十年計畫專案，其科技部於 - 豪华型-測試機-安装 - 1990～1993年撥款4萬馬克支援"微系統計畫"研究，並把微系統列為本世紀 - 豪华型-測試機-安装 - 初科技發展的重點，德國首創的LIGA工藝，為MEMS的發展提供了新的技術手段，並 - 豪华型-測試機-安装 - 已成為三維結構製作的優選工藝。法國1993年啟動的7000萬法郎的"微系統與技術"專案。歐共體組成"多功能微系統研究網路NEXUS"，聯合協調46個研究所的研究。瑞士在其傳統的鐘錶製造行業和小型精密機械工業的基礎上也投入了MEMS的開發工作，1992年投資為1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學計畫。在機械、光學、電子學等領域列出8個項目進行研究與開發。為了加強歐洲開發MEMS的力量，一些歐洲公司已組成MEMS開發集團。目前已有大量的微型機械或微型系統被研究出來，例如：尖端直徑為5μm的微型鑷子可以夾起一個紅血球，尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達250μl/min能開動的汽車，在磁場中飛行的機器蝴蝶