耗資250億日元的微型大型研究計畫

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營業用-鋐機拉力機-網上訂購 美國工業主要致力於感測器、位移感測器、應變儀和加速度表等感測器有關領域的研究。很 - 營業用-鋐機拉力機-網上訂購 - 多機構參加了微型機械系統的研究，如康奈爾大學、斯坦福大學、加州大學伯克利分校、密 - 營業用-鋐機拉力機-網上訂購 - 執安大學、威斯康星大學、老倫茲得莫爾國家研究等。加州大學伯克利感測器和執行器中心 - 營業用-鋐機拉力機-網上訂購 - (BSAC)得到國防部和十幾家公司資助1500萬元後，建立了1115m2研究開發 - 營業用-鋐機拉力機-網上訂購 - MEMS的超淨實驗室。日本通產省1991年開始啟動一項為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計畫，研製兩台樣機，一台用於醫療、進入人體進行診斷和微型手術，另一台用於工業，對飛機發動機和原子能設備的微小裂紋實施維修。該計畫有築波大學、東京工業大學、東北大學、早稻田大學和富士通研究所等幾十家單位參加。歐洲工業發達國家也相繼對微型系統的研究開發進行了重點投資，德國自1988年開始微加工十年計畫專案，其科技部於1990～1993年撥款4萬馬克支援"微系統計畫"研究，並把微系統列為本世紀初科技發展的重點，德國首創的LIGA工藝，為MEMS的發展提供了新的技術手段，並已成為三維結構製作的優選工藝。法國1993年啟動的7000萬法郎的"微系統與技術"專案。歐共體組成"多功能微系統研究網路NEXUS"，聯合協調46個研究所的研究。瑞士在其傳統的鐘錶製造行業和小型精密機械工業的基礎上也投入了MEMS的開發工作，1992年投資為1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學計畫。在機械、光學